Dépôts métalliques

La pulvérisation cathodique magnetron présente de nombreux avantages

 C’est un procédé basse température (< 80°C)
 A grande vitesse de dépôt
 Très conformal en surface
 Compatible avec un grand nombre de métaux

Matériaux disponibles couramment en pulvérisation métallique à SOLEMS :

• Aluminium / Ti 1%
• Nickel

Voir aussi Couches d’oxydes par pulvérisation réactive